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                      泛華恒興 質量流量傳感器校準系統

                      2011-12-27 北京泛華恒興科技有限公司

                       

                      a)產品概述

                      質量流量傳感器校準系統作為質量流量傳感器生產線終檢校準設備,用于小量程質量流量傳感器的通訊功能測試以及不同溫度下的校準,以保證產品質量及精度。

                      b)應用專利技術

                      本系統中以下技術正在申請實用新型或發明專利:

                      《批量傳感器固定可識別裝置》
                      《無繞線針床夾具》
                      《高密封閥組》
                      《一種多氣路連接器裝置》

                      c)系統功能

                      主要功能

                      描 述

                      用戶管理

                      管理用戶登錄及操作權限,按權限高低分為管理員、工程師、技術員、線長和操作員,管理員具有最高權限,可以添加、刪除和修改用戶信息;

                      工單操作

                      用于創建不同溫度下的工單任務,只有當前存在的工單被終止或完成時,才能創建下一個工單;

                      參數配置

                      用于工程師對校準或測試參數進行配置;

                      模式選擇

                      提供生產模式、工程師模式以及校驗模式共三種工作模式;

                      錯誤日志瀏覽

                      為用戶提供按時間查詢的錯誤日志瀏覽;

                      數據存儲

                      自動存儲測試過程數據。

                      d)特性詳解 

                      • 兼容多種信號輸出類型的傳感器——

                         

                        信號類型

                        輸出方式

                        模擬量

                        電壓信號

                        數字量

                        IIC通訊信號

                        SPI通訊信號

                        PWM脈沖信號

                         

                      • 溫度可控范圍寬,穩定性優異——可實現-20℃~100℃范圍內不同溫度點的精確控制,溫度控制精度為 1℃,目標溫度下的溫度波動度為 0.2℃;
                      • 良好的氣路密封性——采用鋼質氣管,采用少接頭設計,確保系統密封性。圖示是使用同一傳感器夾具進行5次(用不同顏色的曲線代表)泄漏測試時的泄漏率。(單位為sccm/s,測試壓力為2.5psi,保壓時間 20s,每個傳感器夾具包含4條氣路)
                      • 高測試校準精度——氣體流量控制精度達 1sccm,溫度控制精度 1℃。
                      • 高測試效率——系統可同時對32個被測件進行操作,8路總線并行的設計方法和溫度的快速穩定為Cycle Time節約了大量時間,達到160 DUTs/h,滿足生產線節拍的要求。

                         測試校準穩定可靠——GRR實驗數據良好。圖示為校準200sccm量程的傳感器時不同流量點下(50/100/160/200sccm)的GRR數據,均<10%。

                      • 便于維護——設計了專門的探針模塊用于從傳感獲信號點獲取信號,損壞時更該模塊即可;氣路裝拆方便;繼電器狀態通過指示燈顯示,指示直觀。
                      • 完善的安全機制——智能流程判斷;提供急停等安全操作機制,在系統出現突發狀況時對人及設備形成保護。
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